Physikalisch begrenzende Parameter bei der Transistorverkleinerung: dünne Oxide und heiße Elektronen
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Bibliographic Details
Main Author: Schmitt-Landsiedel, Doris 1952-2023 (Author)
Format: Book
Language:German
Published: 1983
Subjects:
Item Description:München, Techn. Univ., Diss., 1984
Physical Description:179 S. Ill.