Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente:
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1984
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Bibliotheksmagazin
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| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |