Entwicklung einer 2-[My]m-MOS-Prozeßlinie zur Fertigung von VLSI-Produkten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Horninger, Karlheinz (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: Karlsruhe Fachinformationszentrum 1982
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht / T 1982,220
Umfang:72 S.