Evaluierung der Einsetzbarkeit des lasergestützten Verfahrens zur selektiven Metallisierung für die Verbesserung passiver Intermodulation in Hochfrequenzanwendungen:
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Erlangen
FAU University Press
2022
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Band 397 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VORWORT
.
III
INHALTSVERZEICHNIS
.
V
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
IX
BILDVERZEICHNIS
.
XV
TABELLENVERZEICHNIS
.
XXI
I
EINLEITUNG
.
I
2
STAND
DER
TECHNIK
.
5
2.1
MECHATRONIC
INTEGRATED
DEVICES
.
5
2.2
LDS-VERFAHREN
.
6
2.2.1
MATERIALAUSWAHL
FUER
LDS-SUBSTRATE
.
8
2.2.2
LASERSTRUKTURIERUNG
.
1O
2.2.3
METALLISIERUNG
.
15
2.3
PASSIVE
INTERMODULATION
.
17
2.3.1
THEORETISCHE
DARSTELLUNG
DER
PASSIVEN
INTERMODULATION
.
17
2.3.2
MECHANISMEN
DER
PIM
.
19
2.4
ANFORDERUNGEN
AN
MID-BAUTEILE
FUER
DIE
VERBESSERUNG
VON
PIM
.
26
2.5
PROBLEMSTELLUNG
UND
MOTIVATION
.
29
2.6
FORSCHUNGSBEDARFE
UND
LOESUNGSWEG
.
31
3
GRUNDLAGEN
UND
METHODEN
ZUR
UNTERSUCHUNG
DER
LASERSTRUKTURIERUNG.
35
3.1
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
DER
LASERSTRUKTURIERUNG
.
35
3.1.1
THEORETISCHE
BESTIMMUNG
VON
ABLATIONSSCHWELLE
UND
ABLATIONSQUALITAET
.
38
3.1.2
EXPERIMENTELLE
CHARAKTERISIERUNG
VON
ABLATIONSSCHWELLE
UND
ABLATIONSQUALITAET
.
41
3.1.3
EXPERIMENTELLE
ABSTIMMUNG
DER
OPTIMALEN
FLUENZ
ZUR
ERZIELUNG
VON
EFFIZIENZ
BEI
DER
ABLATION
.
42
3.2
THERMISCHE
SIMULATION
DER
LASERSTRUKTURIERUNG
.
43
3.2.1
VORBEREITUNG
FUER
DIE
THERMISCHE
SIMULATION
.
44
V
3.2.2
AUSFUEHRUNG
DER
SIMULATION
.
46
3.2.3
DARSTELLUNG
DER
SIMULATION
.
48
4
GRUNDLAGEN
UND
METHODEN
ZUR
BEWERTUNG
DER
AUSWIRKUNG
DES
LDS-VERFAHRENS
AUF
DIE
PIM
.
51
4.1
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
DER
AUSWIRKUNGEN
.
51
4.1.1
VORBEREITUNG
DER
UNTERSUCHUNG
.
52
4.1.2
BESCHAFFUNG
DER
DATEN
.
54
4.1.3
DATENANALYSE
.
56
4.2
ANALYTISCHE
MODELLIERUNG
DER
PIM
.
57
4.2.1
ERMITTLUNG
DES
VERTEILTEN
WIDERSTANDS
.
58
4.2.2
ERZEUGUNG
DER
JOULESCHEN
WAERME
.
60
4.2.3
MODELLIERUNG
DES
TEMPERATURANSTIEGS
.
62
4.2.4
ABLEITUNG
DES
PIM-PEGELS
.
66
5
AUSWERTUNG
UND
EVALUIERUNG
DER
ERGEBNISSE
VON
UNTERSUCHUNG
DER
LASERSTRUKTURIERUNG
.
69
5.1
THEORETISCHE
BESTIMMUNG
VON
ABLATIONSSCHWELLE
UND
ABLATIONSQUALITAET
.
69
5.2
EXPERIMENTELLE
CHARAKTERISIERUNG
VON
ABLATIONSSCHWELLE
UND
ABLATIONSQUALITAET
.
71
5.3
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DER
OPTIMALEN
FLUENZ
ZUR
ERZIELUNG
VON
EFFIZIENZ
.
73
5.4
AUSWERTUNG
DER
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
77
6
BEWERTUNG
UND
EVALUIERUNG
DER
AUSWIRKUNG
DES
LDS-VERFAHRENS
AUF
DIE
PIM.
85
6.1
QUANTIFIZIERUNG
DES
ZUSAMMENHANGS
ZWISCHEN
FLUENZ
UND
PIM-PEGEL
.
85
6.2
EVALUIERUNG
DES
EINFLUSSES
DER
LASERPROZESSPARAMETER
AUF
DEN
PIM-PEGEL
.
87
6.2.1
QUALITATIVE
CHARAKTERISIERUNG
DER
ZUSAMMENHAENGE
ZWISCHEN
DEN
LASERPROZESSPARAMETERN
UND
DEM
PIM-PEGEL
.
87
6.2.2
QUANTITATIVE
CHARAKTERISIERUNG
DER
ZUSAMMENHAENGE
ZWISCHEN
DEN
LASERPROZESSPARAMETERN
UND
DEM
PIM-PEGEL
.
88
VI
6.3
EVALUIERUNG
DES
EINFLUSSES
DER
LASERPROZESSPARAMETER
AUF
DIE
QUALITAETSMERKMALE
.
96
6.4
EVALUIERUNG
DES
EINFLUSSES
DER
QUALITAETSMERKMALE
AUF
DEN
PIM-PEGEL
.
99
6.5
EVALUIERUNG
DES
EINFLUSSES
DER
NI-SCHICHTDICKE
AUF
DEN
PIM-PEGEL
.
102
6.6
EVALUIERUNG
DES
ANALYTISCHEN
MODELLS
FUER
DIE
VORHERSAGE
VON
PIM-PEGELN
.
.
6.6.1
BESTIMMUNG
DER
DIELEKTRIZITAETSZAHL
DES
SUBSTRATS
.
106
6.6.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
CHARAKTERISTISCHEN
IMPEDANZ
.
107
6.6.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
DAEMPFUNG
UND
DES
VERTEILTEN
WIDERSTANDS
.
108
6.6.4
CHARAKTERISIERUNG
DES
TEMPERATURANSTIEGS
UND
PIM-PEGELS
.
112
6.7
ZUSAMMENFASSUNG
.
113
7
UEBERTRAGEN
DES
LDS-VERFAHRENS
AUF
HERSTELLUNG
VON
KOPLANARLEITUNGEN
AUF
KERAMIK
.
115
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
119
9
SUMMARY
AND
OUTLOOK
.
125
LITERATURVERZEICHNIS
.
129
VII |
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