Verfügbarkeit: Experimentelle Untersuchungen von Dünnschicht-Lotsystemen

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Wendt, Mathias (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Düren Shaker Verlag 2019
Schriftenreihe:	Forschungsberichte des Instituts für Füge- und Schweißtechnik 52
Schlagwörter:	Nickel Lot > Werkstoff Bonden Intermetallische Verbindungen Lötverbindung Gold Zinn Lumineszenzdiode Herstellung Dünne Schicht Wafer AuSn-Lot NiSn-Lot Waferbonden Hochschulschrift
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Umfang:	XVIII, 181 Seiten Illustrationen 21 cm
ISBN:	9783844068245 3844068244

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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS VORWORT ................................................................................................................................. V FORMELVERZEICHNIS ............................................................................................................... XI ABKUERZUNGSVERZEICHNIS ..................................................................................................... XIII KURZFASSUNG........................................................................................................................ XV ABSTRACT ........................................................................................................................... XVII 1. EINLEITUNG UND INHALT DER VORLIEGENDEN ARBEIT ....................................................... 1 2. GRUNDLAGEN DER DUENNFILM-LED-HERSTELLUNG UND WAFERBONDEN .......................... 5 2.1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DUENNFILM-LEDS ........................................... 5 2.2 WAFERBONDEN ............................................................................................... 7 2.3 INTERMETALLISCHE REAKTIONEN UND REAKTIONSMECHANISMEN BEI SLID-BONDEN ............................................................................................... 15 2.4 DIFFUSIONSBARRIERE-SCHICHTEN IN DUENNFILM-SCHICHTSYSTEMEN ................... 31 3. ANALYSEVERFAHREN .................................................................................................. 35 3.1 THERMISCHE ANALYSEVERFAHREN UND WAERMEBEHANDLUNGSVERFAHREN .................................................................. 35 3.2 ANALYSEVERFAHREN ZUR CHARAKTERISIERUNG DER LOTVERBINDUNG ................... 37 4. VERSUCHSGRUNDLAGEN UND PROBENHERSTELLUNG ..................................................... 43 4.1 PROBENPRAEPARATION FUER TEMPERVERSUCHE UND THERMISCHE ANALYSEVERFAHREN ........................................................................................44 4.2 HERSTELLUNGSVERFAHREN DER MIKRO-CHEVRON-PROBEN .................................. 45 4.3 PRAEPARATIONSVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHLIFFEN ............................... 48 4.4 VERFAHREN ZUR FREILEGUNG DER INTERMETALLISCHEN PHASE ............................. 49 5. UNTERSUCHUNG INTERMETALLISCHER REAKTIONEN IN LOTSYSTEMEN ............................ 51 5.1 DAS LOTSYSTEM GOLD-ZINN ........................................................................... 51 5.2 DAS LOTSYSTEM GOLD-PLATIN-ZINN ................................................................. 76 5.3 DAS LOTSYSTEM NICKEL-ZINN ......................................................................... 95 5.4 DAS TERNAERE LOTSYSTEM AU-NI-SN ............................................................... 108 II \| INHALTSVERZEICHNIS 5.5 DAS QUARTAERE LOTSYSTEM AU-NI-PT-SN ....................................................... 124 6. BONDVERSUCHE MIT DUENNSCHICHT-LOTSYSTEMEN ................................................. 129 6.1 WAFERBONDEN MIT AU-SN-LOT DER LOTVARIANTE 4 ....................................... 129 6.2 WAFERBONDEN MIT DEM AU-PT-SN-LOT DER LOTVARIANTE 5 .......................... 133 6.3 WAFERBONDEN MIT DEM NI-SN-LOTSYSTEM ................................................. 138 6.4 WAFERBONDEN MIT DEM AU-NI-PT-SN-LOTSYSTEM ...................................... 141 7. BRUCHZAEHIGKEIT UND VERSAGENSANALYSE DER LOTSYSTEME .................................... 145 7.1 VERSAGENSANALYSE DER MIKRO-CHEVRON-TEST-PROBEN ................................. 146 8. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK ....................................................................... 169 9. LITERATUR ................................................................................................................ 173 10. PUBLIKATIONEN ...................................................................................................... 177 11. PATENTE ................................................................................................................ 179 12. ANHANG ................................................................................................................ 181
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