Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter - Kühne, Stefan (Fraunhofer Verlag, 2018)
Keywords: Diffraktives optisches Element; Nanostruktur; Beugungsgitter; Formtoleranz; Optische Spektroskopie; Gütekriterium; Ultrapräzisionsbearbeitung; Mikrobearbeitung; Oberflächenfeingestalt; Echellegitter; Ultrapräzisionszerspanung; Blazegitter; Mikroumformen; Spektroskopie; Ultrapräzision; Physikalische Ingenieure; Physiker; Maschinenbau-Ingenieure; Optik-Designer; Hochschulschrift