Entwicklung und Charakterisierung von Trench-Gate-Strukturen für 4H-SiC Leistungs-MOSFETs - Banzhaf, Christian Tobias 1985- (Shaker Verlag, 2016)
Kurzfassung in deutsch und englisch
Keywords: MOS; Trench -- Mikroelektronik; Wide-bandgap Halbleiter; Siliciumcarbid; Nachbehandlung; Leistungstransistor; Hexagonaler Kristall; Wafer; MOS-FET; MOSFET; Trench; Hochschulschrift