Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis/Dissertation Book |
| Language: | German |
| Published: |
Wildau
TH
2012
|
| Subjects: | |
| Item Description: | unbefristet gesperrt |
| Physical Description: | XXIII, 77 S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV040663351 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 130110s2012 xx ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)918541943 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV040663351 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-526 | ||
| 100 | 1 | |a Schultz, Stefan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| 264 | 1 | |a Wildau |b TH |c 2012 | |
| 300 | |a XXIII, 77 S. |b Ill., graph. Darst. |e 1 CD-ROM | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a unbefristet gesperrt | ||
| 502 | |a Wildau, TH, Bachelorarbeit, W54/09(12) | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025490062 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1818976952023777280 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Schultz, Stefan |
| author_facet | Schultz, Stefan |
| author_role | aut |
| author_sort | Schultz, Stefan |
| author_variant | s s ss |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV040663351 |
| ctrlnum | (OCoLC)918541943 (DE-599)BVBBV040663351 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00932nam a2200277 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV040663351</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">130110s2012 xx ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)918541943</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV040663351</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-526</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schultz, Stefan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wildau</subfield><subfield code="b">TH</subfield><subfield code="c">2012</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XXIII, 77 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="e">1 CD-ROM</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">unbefristet gesperrt</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Wildau, TH, Bachelorarbeit, W54/09(12)</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025490062</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV040663351 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T16:20:01Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-025490062 |
| oclc_num | 918541943 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-526 |
| owner_facet | DE-526 |
| physical | XXIII, 77 S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
| publishDate | 2012 |
| publishDateSearch | 2012 |
| publishDateSort | 2012 |
| publisher | TH |
| record_format | marc |
| spelling | Schultz, Stefan Verfasser aut Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe Wildau TH 2012 XXIII, 77 S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier unbefristet gesperrt Wildau, TH, Bachelorarbeit, W54/09(12) (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| spellingShingle | Schultz, Stefan Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_auth | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_exact_search | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_full | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_fullStr | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_full_unstemmed | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_short | Visualisierung eines Produktionsprozesses in der Herstellung von Lithographie-Komponenten für die Halbleiterindustrie zur Optimierung der Fertigungsabläufe |
| title_sort | visualisierung eines produktionsprozesses in der herstellung von lithographie komponenten fur die halbleiterindustrie zur optimierung der fertigungsablaufe |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT schultzstefan visualisierungeinesproduktionsprozessesinderherstellungvonlithographiekomponentenfurdiehalbleiterindustriezuroptimierungderfertigungsablaufe |