Use of monocrystalline silicon as tool material for highly accurate blanking of thin metal foils:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Hildering, Sven (VerfasserIn), Engel, Ulf (VerfasserIn), Merklein, Marion 1973- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: 2011
Links:https://open.fau.de/handle/openfau/2588
https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus-37695
Beschreibung:Aus: AIP Conference Proceedings ; 1353. 2011
Umfang:1 Online-Ressource