Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
München
Verl. Dr. Hut
2011
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Physik
|
| Schlagwörter: | |
| Links: | http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3836320&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm |
| Umfang: | IV, 139 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 9783868539189 3868539182 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV037470814 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20110617 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 110614s2011 xx ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 11,N24 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1012489809 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783868539189 |c Pb. : EUR 33.00 (DE) |9 978-3-86853-918-9 | ||
| 020 | |a 3868539182 |c Pb. : EUR 33.00 (DE) |9 3-86853-918-2 | ||
| 024 | 3 | |a 9783868539189 | |
| 035 | |a (OCoLC)734075786 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1012489809 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-19 | ||
| 084 | |a 530 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Hein, Eric |d 1982- |e Verfasser |0 (DE-588)13603456X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |c Eric Hein |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a München |b Verl. Dr. Hut |c 2011 | |
| 300 | |a IV, 139 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Physik | |
| 502 | |a Zugl.: Kaiserslautern, Techn. Univ., Diss., 2011 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 2 | |m X:MVB |q text/html |u http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3836320&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm |3 Inhaltstext |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-022622574 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1818973023990972416 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Hein, Eric 1982- |
| author_GND | (DE-588)13603456X |
| author_facet | Hein, Eric 1982- |
| author_role | aut |
| author_sort | Hein, Eric 1982- |
| author_variant | e h eh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV037470814 |
| ctrlnum | (OCoLC)734075786 (DE-599)DNB1012489809 |
| discipline | Physik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01311nam a2200373 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV037470814</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20110617 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">110614s2011 xx ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">11,N24</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1012489809</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783868539189</subfield><subfield code="c">Pb. : EUR 33.00 (DE)</subfield><subfield code="9">978-3-86853-918-9</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3868539182</subfield><subfield code="c">Pb. : EUR 33.00 (DE)</subfield><subfield code="9">3-86853-918-2</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783868539189</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)734075786</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1012489809</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hein, Eric</subfield><subfield code="d">1982-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)13603456X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen</subfield><subfield code="c">Eric Hein</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">München</subfield><subfield code="b">Verl. Dr. Hut</subfield><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 139 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Physik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Kaiserslautern, Techn. Univ., Diss., 2011</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">X:MVB</subfield><subfield code="q">text/html</subfield><subfield code="u">http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3836320&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm</subfield><subfield code="3">Inhaltstext</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-022622574</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV037470814 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T15:17:35Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783868539189 3868539182 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-022622574 |
| oclc_num | 734075786 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-19 DE-BY-UBM |
| owner_facet | DE-12 DE-19 DE-BY-UBM |
| physical | IV, 139 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2011 |
| publishDateSearch | 2011 |
| publishDateSort | 2011 |
| publisher | Verl. Dr. Hut |
| record_format | marc |
| series2 | Physik |
| spelling | Hein, Eric 1982- Verfasser (DE-588)13603456X aut Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen Eric Hein 1. Aufl. München Verl. Dr. Hut 2011 IV, 139 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Physik Zugl.: Kaiserslautern, Techn. Univ., Diss., 2011 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content X:MVB text/html http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3836320&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm Inhaltstext |
| spellingShingle | Hein, Eric 1982- Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |
| title_auth | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |
| title_exact_search | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |
| title_full | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen Eric Hein |
| title_fullStr | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen Eric Hein |
| title_full_unstemmed | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen Eric Hein |
| title_short | Optisch streuende Glasoberflächenrauigkeiten durch Selbstmaskierung beim reaktiven Trockenätzen |
| title_sort | optisch streuende glasoberflachenrauigkeiten durch selbstmaskierung beim reaktiven trockenatzen |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3836320&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm |
| work_keys_str_mv | AT heineric optischstreuendeglasoberflachenrauigkeitendurchselbstmaskierungbeimreaktiventrockenatzen |