Verfügbarkeit: Charakterisierung von dünnen hoch-k Dielektrika mittels C-AFM

Charakterisierung von dünnen hoch-k Dielektrika mittels C-AFM:

Physikalische Technik

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Schmidt, Ronny (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Wildau 2009
Schlagwörter:	Rasterkraftmikroskopie High-k-Dielektrikum Beschichten Halbleitertechnologie Hochschulschrift
Links:	http://wilbert.kobv.de/tocs/63858.pdf
Zusammenfassung:	Physikalische Technik
Umfang:	72 Blätter Illustrationen

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