Availability: Charakterisierung von dünnen hoch-k Dielektrika mittels C-AFM

Charakterisierung von dünnen hoch-k Dielektrika mittels C-AFM:

Physikalische Technik

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Bibliographic Details
Main Author:	Schmidt, Ronny (Author)
Format:	Thesis/Dissertation Book
Language:	German
Published:	Wildau 2009
Subjects:	Rasterkraftmikroskopie High-k-Dielektrikum Beschichten Halbleitertechnologie Hochschulschrift
Links:	http://wilbert.kobv.de/tocs/63858.pdf
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