Verfügbarkeit: Theoretische und experimentelle Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen unter Hochvakuumbedingungen

Theoretische und experimentelle Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen unter Hochvakuumbedingungen:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Schenk, Christoph (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Göttingen Cuvillier 2007
Ausgabe:	1. Aufl.
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adam_text	THEORETISCHE UND EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN AN EBENEN AEROSTATISCHEN GASLAGERELEMENTEN UNTER HOCHVAKUUMBEDINGUNGEN DISSERTATION ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES DOKTORINGENIEUR (DR.-ING.) VORGELEGT DER FAKULTAET FUER MASCHINENBAU TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU VON DIPL.-ING. (FH) CHRISTOPH SCHENK INHALTSVERZEICHNIS 1 EINFUEHRUNG 1 1.1 GRUNDLAGEN AEROSTATISCHER LAGERELEMENTE 2 1.1.1 PRINZIP AEROSTATISCHER LAGERELEMENTE 2 1.1.2 WICHTIGE KENNGROESSEN 3 1.2 STAND DES WISSENS 5 1.2.1 AEROSTATISCHE GASLAGER UND GASLAGERELEMENTE .... 5 1.2.2 VORSPANNUNG MITTELS VAKUUM 15 1.2.3 INTEGRATION VON GASLAGERN UND GASFUEHRUNGEN IN VA- KUUMSYSTEME 16 1.3 ZIEL DER ARBEIT 23 2 DIMENSIONIERUNG EBENER HOCHVAKUUMTAUGLICHER GASLAGER- ELEMENTE 25 2.1 STROEMUNGSFORMEN 25 2.2 STROEMUNG DURCH EINEN RADIAL DIVERGIERENDEN SPALT 28 2.2.1 KONTINUUMS- UND KNUDSENSTROEMUNG 29 2.2.2 MOLEKULARSTROEMUNG 33 2.2.3 STROEMUNG UEBER DEN GESAMTEN DRUCKBEREICH 34 2.3 STROEMUNG DURCH DIE EINLASSDROSSELN 35 2.3.1 STROEMUNG DURCH EINZELDUESEN 35 2.3.2 STROEMUNG DURCH EINE POROESE DROSSELSCHICHT 36 2.4 1-D NUMERISCHES DIMENSIONIERUNGSMODELL 37 2.4.1 BERECHNUNG DES DRUCKPROFILS 37 2.4.2 BERECHNUNG VON TRAGKRAFT, STATISCHER STEIFIGKEIT UND GASVERBRAUCH 40 2.5 FORMABWEICHUNGEN DES LAGERBEREICHES 41 3 AUSLEGUNG DES DICHTSYSTEMS 45 3.1 BESTIMMUNG DER LECKRATE 45 3.1.1 EXPERIMENTELLE BESTIMMUNG DER LECKRATE 46 3.2 BERECHNUNG DES DRUCKES IN DEN ABSAUGKANAELEN 46 I INHALTSVERZEICHNIS 3.2.1 ABSAUGSTUFEN MIT KONTINUUMS-UND KNUDSENSTROEMUNG 47 3.2.2 ABSAUGSTUFEN MIT MOLEKULARSTROEMUNG 48 3.3 ANZAHL DER LAGERELEMENTE 50 3.4 DIMENSIONIERUNG 51 3.4.1 DIMENSIONIERUNG DER DICHTSPALTE 53 3.4.2 ANZAHL DER ABSAUGSTUFEN 54 3.4.3 AUSLEGUNG DER PUMPSYSTEME 55 3.4.4 FAZIT 58 4 STATISCHE EIGENSCHAFTEN DER LAGERELEMENTE 61 4.1 AUFBAU DER LAGERELEMENTE 61 4.2 AUFBAU DES VERSUCHSSTANDES 63 4.3 DURCHFUEHRUNG UND AUSWERTUNG DER EXPERIMENTE 66 4.4 EIGENSCHAFTEN AN NORMALATMOSPHAERE UND IM HOCHVAKUUM IM VERGLEICH 67 4.5 VERGLEICH DER EIGENSCHAFTEN BEIDER LAGERELEMENTARTEN IM HOCHVAKUUM 70 4.5.1 TRAGKRAFT, STATISCHE STEIFIGKEIT UND GASVERBRAUCH . . 70 4.5.2 LECKRATE 72 4.5.3 MODIFIKATION DER DROSSELPARAMETER 76 4.5.4 FAZIT 79 4.6 EINFLUSS DES BETRIEBSGASES AUF DIE EIGENSCHAFTEN IM HOCHVA- KUUM 80 4.6.1 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 81 4.6.2 DISKUSSION 81 4.6.3 FAZIT 89 5 STABILITAET DER LAGERELEMENTE 91 5.1 STABILITAETSKRITERIUM 91 5.1.1 DYNAMISCHE STEIFIGKEIT, EIGENFREQUENZ 91 5.1.2 TOTVOLUMEN DER LAGERELEMENTE 94 5.2 AUFBAU DER EXPERIMENTALANORDNUNG 94 5.3 DURCHFUEHRUNG UND AUSWERTUNG DER EXPERIMENTE 97 5.4 ERGEBNISSE DER EXPERIMENTELLEN UNTERSUCHUNGEN 98 5.4.1 DISKUSSION 100 5.4.2 EINFLUSS DES TOTVOLUMENS AUF DIE STABILITAET 101 5.5 URSACHEN DER GERINGEREN STABILITAET IM VAKUUM 102 5.5.1 EINFLUSS DES ABSAUGKONZEPTES AUF DIE STABILITAET . . . 104 N INHALTS VERZEICHNIS 5.6 SCHLUSSFOLGERUNGEN 105 6 GASABGABE IM DYNAMISCHEN EINSATZ 107 6.1 THEORETISCHE BETRACHTUNGEN 108 6.1.1 ADSORPTIONSMECHANISMEN 108 6.1.2 DESORPTIONSMECHANISMEN 110 6.1.3 BEDECKUNG EINER OBERFLAECHE 110 6.2 AUFBAU DER MESSANORDNUNG 112 6.2.1 PRUEFKOERPER 115 6.3 DURCHFUEHRUNG UND INTERPRETATION DER EXPERIMENTE 116 6.3.1 BESTIMMUNG DER GASABGABERATE 123 6.4 ERGEBNISSE DER EXPERIMENTELLEN UNTERSUCHUNGEN 123 6.4.1 EINFLUSS VON SPEISEDRUCK UND SPALTHOEHE 123 6.4.2 EINFLUSS DER VERFAHRGESCHWINDIGKEIT 124 6.4.3 EINFLUSS DES BETRIEBSGASES 125 6.4.4 LAGERELEMENTART 125 6.4.5 EINFLUSS DES MATERIALS UND DER RAUHEIT 126 6.5 FAZIT 128 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 129 A TABELLEN 137 B DIAGRAMME 145 IN
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Signatur:	0001 2009 A 1229 Lageplan
Exemplar 1	Ausleihbar Am Standort