Entwicklung einer Prototyp-Kathodenzerstäubungsanlage:
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Bibliographic Details
Other Authors: Heimbach, Jürgen (Contributor)
Format: Book
Language:Undetermined
Published: Bonn BMFT 1983
Edition:als Ms. gedr.
Series:Forschungsbericht BMFT-FB-T 83
Subjects:
Physical Description:57 S. 25 Abb.