Ion implantation: science and technology
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere beteiligte Personen: Ziegler, James F. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Orlando [u.a.] Acad. Pr. 1984
Schlagwörter:
Umfang:XI, 635 S.