Verfügbarkeit: Halbleiterprüfung | Technische Universität München

Halbleiterprüfung: Licht- u. Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tab.

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Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Schäfer, Wolfgang (VerfasserIn), Terlecki, Georg 1945- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht:	Heidelberg Hüthig 1986
Umfang:	259 S. zahlr. Ill. u. graph. Darst.
ISBN:	377851007X

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