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|---|---|
| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2007
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Umfang: | XIV, 150 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS ABBILDUNGSVERZEICHNIS V TABELLENVERZEICHNIS IX
ABSTRACT (ENGIISCFAE ZUSANUNENFASSUNG) SI 0.1 MOTIVATION FOR 3D
INTEGRATION XI 0.2 3D TECHNOLOGY XII 0.3 RESULTS XIII 1 EINLEITUNG 1 1.1
MOTIVATION 1 1.2 INTEGRATIONSTECHNOLOGIE 2 1.3 DIARAANT UND PERIPHERIE 4
1.4 GLIEDERUNG DER ARBEIT 5 2 EIGENSCHAFTEN INTEGRIERTER SYSTEME 7 2.1
VORTEILE DER DREIDIMENSIONALEN INTEGRATION 7 2.1.1 GROBE DES SYSTEMS 7
2.1.2 VERRINGERUNG DER ELEKTRISCHEN VERBINDUNGSLANGEN 8 2.1.3
INTEGRATION VERSCHIEDENER TECHNOLOGIEN 11 2.2 MONOLITHISCHE INTEGRATION
UND HYBRIDINTEGRATION 12 2.2.1 MONOLITHISCHE INTEGRATION 12 2.2.2
HYBRIDINTEGRATION BZW. PACKAGING-BASIERTE INTEGRATION 14 2.2.3
VERGLEICH: MONOLITHISCHE UND HYBRIDE INTEGRATION 14 3 STRATCGIEN FUR
EINE DREIDIMENSIONALE INTEGRATIONSTECHNOLOGIE 17 3.1 INDUSTRIELL
VERWENDETE PROZESSABLAUFE 19 3.2 ENTWICKELTER PROZESSABLAUF 21 GESCANNT
DURCH BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/986776777
DIGITALISIERT DURCH * INHALTSVERZEKHNIS III A DEFINITION VON
BEZEICHNUNGEN UND BEGRIFFEN 87 B ZUSATZLICHE DETAILS ZUR
INTEGRATIONSTECHNOLOGIE 89 B.I MECHANISCHES DIINNEN 89 B.2
VORDERSEITEN-METALLISIERUNG 90 B.3 SUBSTRAT-TRAGER-TECHNOLOGIE 91 B.3.1
STRUKTUR UND PHYSIKALISCHE EIGENSCHAFTEN 92 B.3.2 KLEBEVORGANG 95 B.4
AUFBAU UND FUNKTION DES SPINATZERS 96 B.5 KALIBRATION DER ASE-PROZESSE
98 B.6 ABSCHATZUNG DER STROMTRANSPORTMECHANISMEN IM LT-OXID 99 B.6.1
NIEDRIGEFELDSTARKEN 99 B.6.2 HOHE FELDSTARKEN 102 B.7 VIAMETALLISIERUNG
102 B.7.1 OFFNEN DES KONTAKTFENSTERS ZUR VORDERSEITE 102 B.7.2
GALVANISCHE VIAMETALLISIERUNG 104 B.7.3 ERGEBNISSE AN METALLISIERTEN
TESTSTRUKTUREN 107 B.8 DURCHFUHRUNGDERLOTPROZESSE 108 B.9
DIAMANTTECHNOLOGIEFIIR3D-UV-SENSOREN 109 C PROZECPARAMETER 113 D
MASKENLAYOUTS 117 E EIGENE VEROFFENTLICHUNGEN/ WORKSHOPS 123 E.I
VEROFFENTLICHUNGEN IN ZUSAMMENHANG MIT DIESER DISSERTATION 123 E.2
WEITERE VEROFFENTLICHUNGEN 125 E.3 PATENTE 126 E.4 AUSZEICHNUNGEN 126 V
VERWENDETE ABKURZUNGEN UND SYMBOLE 127 LITERATURVERZEICHNIS 148
DANKSAGUNG X49 LEBENSLAUF 151
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