Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau:
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Bibliographic Details
Main Author: Stüber, Michael (Author)
Format: Thesis/Dissertation Book
Language:German
Published: Karlsruhe FZKA 1997
Edition:Als Ms. gedr.
Subjects:
Physical Description:148 S. Ill., graph. Darst.