Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau - Stüber, Michael (FZKA, 1997)
Keywords: Magnetronsputtern; Amorpher Festkörper; Dünne Schicht; Kohlenstoff; Hartstoff; Hochschulschrift; Funktioneller Gradiertenwerkstoff