Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik:
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| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2004
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Umfang: | XVI, 268 S. zahlr. Ill. und graph. Darst. 21 cm |
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