Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung:
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Bibliographic Details
Main Author: Sturm, Roland (Author)
Format: Thesis/Dissertation Book
Language:German
Published: Heimsheim Jost-Jetter 2006
Series:IPA-IAO-Forschung und Praxis 450
Subjects:
Links:http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/2930/
Physical Description:171 S. graph. Darst. 21 cm, 268 gr.
ISBN:9783939890034
3939890030