Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop:
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| Format: | Microform Book |
| Language: | German |
| Published: |
1999
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| Edition: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Series: | ETH-Diss
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| Item Description: | Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 1999. -Zsfassung in engl. Sprache. -Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches |
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