Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop - Baumann, Daniel Guy (1999)
Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 1999. -Zsfassung in engl. Sprache. -Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches
Keywords: Elektronenmikroskop; Goniometer; Piezoelektrischer Aktor; Lagemessung; Winkelmessung; Positionierung; Durchstrahlungselektronenmikroskop; Hochschulschrift