Verfügbarkeit: Neuartige Metallelektroden und Dielektrika für die MOS-Technologie

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Schmidt, Matthias 1976- (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Elektronisch E-Book
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	2005
Schlagwörter:	Niob Siliciumdioxid MOS Gate > Elektronik Niobnitride Dielektrikum Hochschulschrift
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