Untersuchungen zu Inhomogenitäten an der Halbleitergrenzfläche Silizium-Siliziumoxynitrid:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2003
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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| Schlagwörter: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Cottbus, Techn. Univ., Diss., 2003 |
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