Verfügbarkeit: Ein Verfahren zur kontrollierten Beschichtung von Nanopartikeln in expandierenden Düsenströmungen

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Mayer, Michael (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Kaiserslautern Techn. Univ. 2005
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte Mechanische Verfahrenstechnik und Strömungsmechanik 9
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adam_text	FORTSCHRITT-BERICHTE MECHANISCHE VERFAHRENSTECHNIK UND STROEMUNGSMECHANIK BAND 9 * TECHNISCHE UNIVERSITAET * KAISERSLAUTERN MICHAEL MAYER EIN VERFAHREN ZUR KONTROLLIERTEN BESCHICHTUNG VON NANOPARTIKELN IN EXPANDIERENDEN DUESENSTROEMUNGEN HRSG.: F. EBERT ILL INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 STAND DER TECHNIK 5 2.1 EINTEILUNG DER BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIEN 5 2.1.1 PVD - PHYSICAL VAPOR DEPOSITION 6 2.1.2 CVD - CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 8 2.1.3 PLASMAPOLYMERISATION 9 2.1.4 CHEMISCHE UND ELEKTROCHEMISCHE ABSCHEIDUNG 9 2.2 ANGEWANDTE BESCHICHTUNGSVERFAHREN 9 2.2.1 PVD-VERFAHREN 9 2.2.2 CVD-VERFAHREN 11 2.2.3 VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN ABSCHEIDUNG 15 2.2.4 MECHANISCHE VERFAHREN 16 3 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 17 3.1 VERDAMPFUNGS- KONDENSATIONSMETHODE 17 3.1.1 KONDENSATION 17 3.1.2 KOAGULATION UND KOALESZENZ 20 3.2 STROEMUNG KOMPRESSIBLER MEDIEN IN LAVAL-DUESEN 24 3.2.1 GRUNDLAGEN DER LAVAL-DUESENSTROEMUNG 24 3.2.2 KONDENSATION IN EXPANDIERENDEN DUESENSTROEMUNGEN 26 3.3 GRUNDLAGEN DER PVD- UND CVD-VERFAHREN 28 3.3.1 PHYSI- UND CHEMISORPTION 29 3.3.2 INSELWACHSTUM 30 4 VERSUCHSAUFBAU UND MESSTECHNIK 33 4.1 ZIEL DER UNTERSUCHUNGEN 33 4.2 VERSUCHSAUFBAU 33 4.2.1 AEROSOLGENERATOR 34 4.2.2 BESCHICHTUNGSDAMPFGENERATOR 36 4.2.3 KONDITIONIERUNG 37 4.2.4 EXPANSION IN DER DUESENKONTUR 37 4.2.5 VAKUUMZWEIG 38 4.2.6 BETRIEBSDATENERFASSUNG UND ANLAGENSTEUERUNG 39 4.3 MESSTECHNIK 40 4.3.1 PARTIKELGROESSENANALYSE 40 4.3.2 UNTERDRUCKPROBENNAHME (UPN) 41 5 ERGEBNISSE 44 5.1 GENERIERUNG DER SILBERPARTIKELN 44 5.1.1 EINFLUSS DES VOLUMENSTROMS 44 5.1.2 EINFLUSS DER ROHROFENTEMPERATUR 47 5.1.3 EINFLUSS DER DUESENGEOMETRIE 48 5.2 BESCHICHTUNGSVERSUCHE 49 5.2.1 VARIATION DER PARTIKELSTRUKTUR 51 5.2.2 DARSTELLUNG DES BESCHICHTUNGSEFFEKTES 53 5.2.3 STEUERBARKEIT DER BESCHICHTUNG 56 5.2.4 VERGLEICH DER BESCHICHTUNGSERGEBNISSE VON SI0 2 UND AG MIT NACL 65 5.3 FUNKTIONELLE BESCHICHTUNG 66 6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 69 7 LITERATURVERZEICHNIS 71 8 ANHANG 81 8.1 EINSATZ EINER LAVAL-DUESE IM FLAMMENPROZESS 81 8.1.1 PROJEKTZIEL UND -DURCHFUEHRUNG 81 8.1.2 ERGEBNISSE 82 9 FORMELVERZEICHNIS 89
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Exemplar 1	Ausleihbar Am Standort