Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD - Leistner, Trixi 1973- (Shaker, 2005)
Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Keywords: Elektrische Eigenschaft; Titanorganische Verbindungen; Ausgangsmaterial; MOCVD-Verfahren; Halbleitersubstrat; MIS; Organische Flüssigkeit; Dünne Schicht; Titandioxid; Isolatorbauteil; Hochschulschrift