Verfügbarkeit: Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition

Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition: Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Braun, Stefan 1971- (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Elektronisch E-Book
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	2004
Schlagwörter:	Magnetronsputtern Impulslaserbeschichten Röntgenspiegel Mehrschichtsystem Molybdän Grenzfläche Silicium Mikrostruktur Hochschulschrift
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