Availability: Untersuchungen zu Inhomogenitäten an der Halbleitergrenzfläche Silizium-Siliziumoxynitrid

Untersuchungen zu Inhomogenitäten an der Halbleitergrenzfläche Silizium-Siliziumoxynitrid:

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Bibliographic Details
Main Author:	Hoffmann, Patrick 1973- (Author)
Format:	Thesis/Dissertation Book
Language:	German
Published:	Aachen Shaker 2003
Edition:	1. Aufl.
Series:	Berichte aus der Physik
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