Silizidbildung in strombeheizten Dünnschichten - Schreer, Oliver 1969- (2001)
Keywords: Silicium - Iridium - Mehrschichtsystem - Elektrischer Strom - Tempern - Silicide; Elektrischer Strom; Iridium; Silicium; Tempern; Silicide; Mehrschichtsystem; Hochschulschrift