STM- und XPS-Untersuchungen zum Reaktionsverhalten von TEOS auf Silicium - Spitzmüller, Jürgen 1973- (2000)
Ulm, Univ., Diss., 2000. - Titel auf der Beil.
Keywords: Rastertunnelmikroskopie; Organosiloxane; Silicium; Ethoxygruppe; Kristallfläche; Röntgen-Photoelektronenspektroskopie; Hochschulschrift