First International Symposium on Laser Precision Microfabrication: 14 - 16 June 2000, Omiya, Saitama, Japan
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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Laser Precision Microfabrication Ōmiya, Saitama-ken (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2000
Schriftenreihe:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers: Proceedings of SPIE 4088
Schlagwörter:
Umfang:XV, 410 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:081943731X