Verfügbarkeit: Entwicklung eines optischen Partikelzählers mit nicht abbildenden Optiken zur Kontaminationsüberwachung in Reinstgasleitungen

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Luo, Jun (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2000
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 832
Schlagwörter:	Optische Messung Optische Messtechnik Teilchenmesstechnik Gasleitung Prozessüberwachung Gasversorgung Reingas Reinststoff Streulicht Halbleitertechnologie Reinraumtechnik Kontamination Hochschulschrift
Beschreibung:	Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1999
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