Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop - Baumann, Daniel Guy (VDI-Verl., 2000)
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss. - Zsfassung in engl. Sprache
Keywords: Winkelmessung; Goniometer; Elektronenmikroskop; Positionierung; Lagemessung; Durchstrahlungselektronenmikroskop; Piezoelektrischer Aktor; Hochschulschrift