Ionenstrahlinduzierte epitaktische Kristallisation und Interface-Amorphisierung von III - V-Verbindungshalbleitern und Germanium - Schulz, Rüdiger Stefan 1967- (1997)
Jena, Univ., Diss., 1997
Keywords: Rekristallisation; Epitaxie; Amorphisierung; Ionenbestrahlung; Drei-Fünf-Halbleiter; Germanium; Hochschulschrift