Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1997
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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