Plasmaabgeschiedene integriert optische Wellenleiter auf Silizium für die faseroptische Kommunikationstechnik - Hoffmann, Martin (VDI Verl., 1997)
Keywords: PECVD-Verfahren; Schaltungsentwurf; Abscheidung; CMOS; Lichtwellenleiter; Integriert-optisches Bauelement; Siliciumoxinitride; Plasma