Verfügbarkeit: Coupled problems in microsystem technology

Coupled problems in microsystem technology:

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Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Bungartz, Hans-Joachim 1963- (VerfasserIn), Schulte, Stefan (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	München 1995
Schriftenreihe:	Technische Universität <München>: TUM-I 9513
Beschreibung:	Literaturverz. S. 12 - 14
Umfang:	14 S. Ill., graph. Darst.

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