Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik - Schroth, Andreas (Dresden Univ. Press, 1996)
Keywords: Mathematisches Modell; Actuators -- simulation methods; Detectors -- Simulation methods; Microelectromechanical systems -- Mathematical models; Microelectronics -- Mathematical models; Platte; Mikromechanik; Balken; Modell; Hochschulschrift