Verfügbarkeit: Niederdruckplasma-Synthese dünner B-C-N-Schichten und deren Charakterisierung

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Loeffler, Jonathan (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Stuttgart Univ. 1995
Schriftenreihe:	Pulvermetallurgisches Laboratorium <Stuttgart>: Bericht 5
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