Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie - Böhm, Christoph (VDI-Verl., 1995)
Keywords: Integrierte Schaltung; VLSI; Fehlererkennung; Testbarkeit; Analoge integrierte Schaltung; Elektrische Eigenschaft; Rasterkraftmikroskopie; Digitale integrierte Schaltung; Hochschulschrift