Verfügbarkeit: Metallorganische Gasphasenabscheidung mit neuen Precursoren

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Kleine, Matthias (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	1994
Schlagwörter:	Ausgangsmaterial MOCVD-Verfahren Übergangsmetallkomplexe Hochschulschrift
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