Transport submikroner Partikel zu einer laminar umströmten Kreisscheibe - Schmidt, Frank 1961- (1994)
Duisburg, Univ., Diss., 1994
Keywords: Umströmung; Nanopartikel; Scheibe; Wafer; Oberfläche; Abscheidung; Aerosol; Laminare Strömung; Hochschulschrift