XPS-Studien oberflächenchemischer Prozesse beim Plasmaätzen von (Mn,Zn)Ferrit und der MOCVD von TiN x C y:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Ruhl, Günther Georg (VerfasserIn)
Format: Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1993
Schlagwörter:
Umfang:IV, 138 S. Ill., graph. Darst.
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Signatur: 0001 DM 15768 Lageplan
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