Verfügbarkeit: Gas-Quellen-Molekularstrahl-Epitaxie von Beta-Eisendisilizid auf Si(111) mit Silan und Eisenpentacarbonyl

Gas-Quellen-Molekularstrahl-Epitaxie von Beta-Eisendisilizid auf Si(111) mit Silan und Eisenpentacarbonyl:

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Schäfer, Heinz Christopher (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Jülich Forschungszentrum 1993
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 2814
Schlagwörter:	Molekularstrahlepitaxie Kristallfläche Silicide Halbleiterschicht Silicium Gas Hochschulschrift
Beschreibung:	Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
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