Availability: In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen

In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen:

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Koch, Alexander (Author)
Format:	Book
Language:	German
Published:	Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Edition:	Als Ms. gedr.
Series:	Fortschrittberichte VDI Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 357
Subjects:	Mikroelektronik Beschichtung Dünne Schicht Beschichten Plasmastrahlbearbeitung Plasma Hochschulschrift
Physical Description:	VI, 155 S. graph. Darst.
ISBN:	3181457086

Staff View

MARC


LEADER	00000nam a2200000 cb4500
001	BV008839379
003	DE-604
005	20230614
007	t\|
008	940114s1993 xx d\|\|\| am\|\| 00\|\|\| gerod
020			\|a 3181457086 \|9 3-18-145708-6
035			\|a (OCoLC)246269778
035			\|a (DE-599)BVBBV008839379
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rakddb
041	0		\|a ger
049			\|a DE-91 \|a DE-210 \|a DE-634 \|a DE-83
084			\|a ZM 7680 \|0 (DE-625)160562: \|2 rvk
084			\|a FER 895d \|2 stub
084			\|a FER 786d \|2 stub
100	1		\|a Koch, Alexander \|e Verfasser \|4 aut
245	1	0	\|a In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen \|c Alexander Koch
250			\|a Als Ms. gedr.
264		1	\|a Düsseldorf \|b VDI-Verl. \|c 1993
300			\|a VI, 155 S. \|b graph. Darst.
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
490	1		\|a Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik \|v 357
650	0	7	\|a Mikroelektronik \|0 (DE-588)4039207-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Beschichtung \|0 (DE-588)4144863-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Dünne Schicht \|0 (DE-588)4136925-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Beschichten \|0 (DE-588)4005996-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Plasmastrahlbearbeitung \|0 (DE-588)4136199-4 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Plasma \|0 (DE-588)4046249-3 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|8 1\p \|0 (DE-588)4113937-9 \|a Hochschulschrift \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Plasmastrahlbearbeitung \|0 (DE-588)4136199-4 \|D s
689	0	1	\|a Beschichtung \|0 (DE-588)4144863-7 \|D s
689	0		\|5 DE-604
689	1	0	\|a Plasma \|0 (DE-588)4046249-3 \|D s
689	1	1	\|a Dünne Schicht \|0 (DE-588)4136925-7 \|D s
689	1	2	\|a Mikroelektronik \|0 (DE-588)4039207-7 \|D s
689	1	3	\|a Beschichten \|0 (DE-588)4005996-0 \|D s
689	1		\|5 DE-604
830		0	\|a Fortschrittberichte VDI \|v Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 357 \|w (DE-604)BV000882482 \|9 357
883	1		\|8 1\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
943	1		\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005844656

Record in the Search Index

DE-BY-TUM_call_number	0024 65 B 276-8,357
DE-BY-TUM_katkey	611608
DE-BY-TUM_location	Mag
DE-BY-TUM_media_number	040001077909
_version_	1821931075766583296
any_adam_object
author	Koch, Alexander
author_facet	Koch, Alexander
author_role	aut
author_sort	Koch, Alexander
author_variant	a k ak
building	Verbundindex
bvnumber	BV008839379
classification_rvk	ZM 7680
classification_tum	FER 895d FER 786d
ctrlnum	(OCoLC)246269778 (DE-599)BVBBV008839379
discipline	Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik
edition	Als Ms. gedr.
format	Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02026nam a2200517 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV008839379</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230614 </controlfield><controlfield tag="007">t\|</controlfield><controlfield tag="008">940114s1993 xx d\|\|\| am\|\| 00\|\|\| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3181457086</subfield><subfield code="9">3-18-145708-6</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246269778</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008839379</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7680</subfield><subfield code="0">(DE-625)160562:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 895d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 786d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Koch, Alexander</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen</subfield><subfield code="c">Alexander Koch</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 155 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik</subfield><subfield code="v">357</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmastrahlbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136199-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Plasmastrahlbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136199-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Beschichten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4005996-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 357</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000882482</subfield><subfield code="9">357</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005844656</subfield></datafield></record></collection>
genre	1\p (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content
genre_facet	Hochschulschrift
id	DE-604.BV008839379
illustrated	Illustrated
indexdate	2024-12-20T09:27:53Z
institution	BVB
isbn	3181457086
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005844656
oclc_num	246269778
open_access_boolean
owner	DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-634 DE-83
owner_facet	DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-634 DE-83
physical	VI, 155 S. graph. Darst.
publishDate	1993
publishDateSearch	1993
publishDateSort	1993
publisher	VDI-Verl.
record_format	marc
series	Fortschrittberichte VDI
series2	Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik
spellingShingle	Koch, Alexander In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Fortschrittberichte VDI Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd
subject_GND	(DE-588)4039207-7 (DE-588)4144863-7 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4005996-0 (DE-588)4136199-4 (DE-588)4046249-3 (DE-588)4113937-9
title	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen
title_auth	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen
title_exact_search	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen
title_full	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Alexander Koch
title_fullStr	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Alexander Koch
title_full_unstemmed	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Alexander Koch
title_short	In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen
title_sort	in situ charakterisierung von plasmaunterstutzten beschichtungsprozessen
topic	Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Beschichten (DE-588)4005996-0 gnd Plasmastrahlbearbeitung (DE-588)4136199-4 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd
topic_facet	Mikroelektronik Beschichtung Dünne Schicht Beschichten Plasmastrahlbearbeitung Plasma Hochschulschrift
volume_link	(DE-604)BV000882482
work_keys_str_mv	AT kochalexander insitucharakterisierungvonplasmaunterstutztenbeschichtungsprozessen

Availability

Order (Login required)

Order paper/chapter scan

Closed Stacks

Holdings details from Bibliotheksmagazin
Call Number:	0024 65 B 276-8,357 Floor plan
Copy 1	Available for loan On Shelf