Einfluß von Plasmaparametern auf die Eigenschaften von amorphen CVD-Germaniumschichten in einem Niederdruckplasma:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
1993
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| Beschreibung: | München, Technische Univ., Diss., 1993 |
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Paper/Kapitel scannen lassen
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| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |
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| Exemplar 1 | Dauerhaft ausgeliehen Ausgeliehen |