Verfügbarkeit: Abscheidung, Untersuchung der mechanischen Eigenschaften und anwendungsbezogene Prüfung von Tin- und Al 2 O 3 - Verschleißschutzschichten, hergestellt nach dem Hochfrequenz-Kathodenzerstäubungsverfahren

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Roth, Thomas Bernd (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	1988
Schlagwörter:	Aluminiumoxide Beschichten PVD-Verfahren Beschichtung Hochfrequenzsputtern Titannitrid Hochschulschrift
Beschreibung:	Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1989
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