Deposition und Charakterisierung von a-SiGe:H Dünnschichten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Weller, Helga C. H. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1990
Schlagwörter:
Beschreibung:Stuttgart, Univ., Diss.
Umfang:131 S. Ill., zahlr. graph. Darst.