Entwicklung einer 2-Mym-MOS-Prozeßlinie zur Fertigung von VLSI-Produkten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Horninger, Karlheinrich (VerfasserIn), Rüttenauer, Winfried (VerfasserIn), Schulte, Heinrich (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: Karlsruhe Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1982
Schlagwörter:
Umfang:72 S. Ill., graph. Darst.